Eris E120A主要用于5、6、8英寸硅外延工艺。该机台能够高度自动化运行工艺。系统主要由传输?、工艺腔室?、控制?榈茸槌。其中工艺?槭峭瓿晒柰庋庸ひ丈さ暮诵模饕尤认低场⑶皇蚁低澈托迪低,先进的红外控温系统可以实现温度的快速升降和稳定,从而保证了工艺的重复性和设备的稳定性,专业设计的气流场与温场保证了外延片良好的厚度均匀性、电阻率均匀性、零滑移线和低缺陷密度。专业的传输?榭梢栽诩嫒荻嘀侄嘀志г渤叽绲耐笔迪至己玫目帕?刂,工艺稳定性高。