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    CWP1200/1800

    卧式连续型PVD镀膜设备

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    CWP1200/1800 卧式连续型PVD镀膜设备
    CWP1200/1800 Horizontal in-line PVD Coater
    CWP系列产品阴极均水平安装,产品装夹在载板上从阴极处连续通过。设备由多组?榛婵涨皇易槌,腔室内可配置平面阴极或移动平面阴极、旋转阴极、线性离子源等功能部件,可对工件表面进行离子清洗和刻蚀,实现金属、金属化合物等各类材料的真空沉积。
    设备特点
    • 腔室设计?榛,便于产能拓展
    • 设备内多重洁净防护,维护更换便捷
    • 设备性能可靠稳定,已在客户处实现多年稳定运行
    • 可实现气氛隔离,兼容金属溅射和化合物反应溅射
    • 可选自动化翻面配套,实现工件双面镀膜
    技术指标
    • 基材尺寸
      有效宽度1100/1500/1950/ 2200mm
    • 膜厚均匀性
      ±5%
    • 靶材利用率
      平面阴极:≥30%,动平面阴极:≥60%,旋转阴极:≥80%;
    • 走速范围
      30-1000mm/min
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