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    真空装备 Vacuum Tech

    FLVP850/1100

    立式连续型PVD镀膜设备

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    FLVP850/1100 立式连续型PVD镀膜设备
    FLVP850/1100 Vertical in-line PVD Coater
    FLVP系列产品阴极均竖直安装,产品装夹在载板上从阴极处连续通过。设备由多组?榛婵涨皇易槌,腔室内可配置铠装或红外加热、阳极层离子源或弧光离子源、直流溅射磁控阴极、反应溅射磁控阴极、阴极电弧等不同技术部件,实现金属、金属化合物以及碳系涂层的制备。
    设备特点
    • 技术组合灵活,可适用金属、金属化合物、碳系涂层
    • 腔室模块化设计,易拓展,产能配置大小可调
    • 双面同时镀膜,提高涂层制备效率
    • 设备内多重洁净防护,维护更换便捷
    • 可拓展配套自动化,及智能工厂
    技术指标
    • 基材尺寸
      有效高度850/1100/1500mm
    • 基材厚度
      ≥0.1mm
    • 年产能
      氢能双极板150-500万片
    • 走速范围
      30-1000mm/min
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